Grafitni tulci za polprevodniško opremo
Jincheng Graphite, kot profesionalni proizvajalec grafitnih tulcev, zagotavlja visoko-temperaturno odporne grafitne tulce z visoko toplotno prevodnostjo za polprevodniško opremo. Ti tulci so posebej zasnovani za visoko-temperaturne reakcijske komore in vakuumsko opremo ter se ponašajo z visoko toplotno stabilnostjo, odpornostjo proti koroziji in dolgo življenjsko dobo. Široko se uporabljajo v industriji proizvodnje polprevodnikov.
Osnovna prednost
Ekstremna temperaturna odpornost
Z uporabo visoko{0}}čistega grafita (vsebnost ogljika večja ali enaka 99,99 %) in postopka keramičnih kompozitov je razpon temperaturne odpornosti od -200 stopinj do 3000 stopinj, primeren za visokotemperaturna reakcijska okolja v polprevodniški opremi.
Visoka toplotna prevodnost
S kombinacijo več-plastne grafitne strukture in vakuumske komore se toplotna upornost zmanjša na 0,05 K/W, kar zagotavlja enakomerno porazdelitev visoko-temperaturnih plinov in preprečuje lokalno pregrevanje, ki povzroči deformacijo materiala.
Močna kemična stabilnost
Odlična odpornost proti koroziji, zmožnost dolgotrajnega stabilnega delovanja v polprevodniških procesnih plinih, kot sta vodik in dušik, kar zmanjša pogostost vzdrževanja opreme.
Scenarij uporabe
Oprema za visoko{0}}temperaturno reakcijsko komoro
Grafitni tulec, ki se uporablja v postopkih izdelave polprevodnikov, kot sta CVD in PVD, lahko enakomerno prevaja toploto, kar izboljša stabilnost in izkoristek procesa.
Sistem ogrevanja vakuumskega okolja
Med postopkom sušenja in žarjenja polprevodniških rezin grafitni tulec zagotavlja enakomerno porazdelitev toplote, kar zmanjšuje tveganje toplotne obremenitve.
Visok{0}}laserska oprema
Združljiv z visoko{0}}energijskimi laserskimi votlinami hitro prevaja toploto skozi grafitni tulec in tako zagotavlja varno delovanje opreme.
Tehnični parametri
| Toplotna prevodnost | 250 - 400 W/m·K (prilagodljivo glede na zahteve procesa) |
| Delovno temperaturno območje | -200 stopinj do 3000 stopinj |
| Primerno plinsko okolje | vodik, dušik, argon itd. polprevodniški procesni plini |
| Površinska obdelava | plazemsko poliranje/prevleka (prilagodljivo) |
Zagotavljanje kakovosti grafita Jincheng
Jincheng Graphite, ki temelji na 20-letnih izkušnjah raziskav grafitnih materialov, uporablja patentirano vakuumsko kompozitno tehnologijo in nanometrsko-tehnologijo polnjenja z grafitom, da zagotovi stabilnost grafitnih tulcev v ekstremnih pogojih. S certifikatom sistema kakovosti ISO 9001 in vesoljskih standardov AS9100 izpolnjuje zahteve visoko-zanesljivih scenarijev uporabe.
Zaveza za sodelovanje
Jincheng Graphite ponuja celotno-procesno prilagojeno storitev od oblikovanja, proizvodnje do po-prodaje, podpira malo-serijsko poskusno proizvodnjo in{-obsežno prilagajanje. Zagotavlja kratek dobavni cikel in obvladljive stroške. Prek globalnega logističnega omrežja in lokalnih servisnih ekip zagotavlja učinkovite in stabilne rešitve grafitnih tulcev za polprevodniško opremo, kar pomaga doseči dolgoročno-stabilno delovanje visoko-natančnih procesov.
Priljubljena oznake: grafitne puše za polprevodniško opremo, Kitajska grafitne puše za polprevodniško opremo proizvajalci, dobavitelji, tovarna
